Disciplines
Other Technical Sciences (60%); Physics, Astronomy (40%)
Keywords
PVD-Beschichtung,
Kathodenzer- stäuben,
Analytik dünner Hart- stoffschichten,
Untersuchung der Einflußfaktoren auf das Schichtswachstum,
Der Einflußfaktoren,
PVD-Beschichtung,
Ka,
Schichtswachstum,
Stäuben,
Analytik dü,
Stoffschichten,
Unte
Research Output
-
624
Citations
-
6
Publications