Mikrospiegel hoher Güte für Mikro-Opto-Mechanische-Sensoren

Im Rahmen des Projekts sollen von uns entwickelte Methoden zur Fabrikation und zum Auslesen von Mikrospiegeln mit kleiner Masse, hohen Q-Faktoren und hoher Reflektivität untersucht und weiterentwickelt und für mögliche Anwendungen in Mikro-Opto-Mechanischen Sensoren (MOMS) ausgenutzt werden. Insbesondere werden wir neue (einfache und billige) Fabrikationsmethoden entwickeln und verbessern, die auf der Methode der Laserablation in Verbindung mit optischen Resonatoren hoher Finesse beruhen, um bisher unerreichte Sensitivität im Auslesen von MOMS zu ermöglichen. Ein ausgesprochenes Ziel ist das Design und die Herstellung von kompakten Strukturen bestehend aus optischen Resonatoren, die über eine optische Auslesefaser direkt an den mechanischen Sensor gekoppelt sind. Parallel dazu werden wir mögliche Strategien für eine kommerzielle Vermarktung erarbeiten. Das Projekt baut auf Resultaten aus Vorarbeiten und laufender Grundlagenforschung der Antragssteller auf, die diese auf dem Gebiet der opto-mechanischen Herstellung von Quantenzuständen mit Mikromechanischen Systemen durchführen.

Im Rahmen des Projekts sollen von uns entwickelte Methoden zur Fabrikation und zum Auslesen von Mikrospiegeln mit kleiner Masse, hohen Q-Faktoren und hoher Reflektivität untersucht und weiterentwickelt und für mögliche Anwendungen in Mikro-Opto-Mechanischen Sensoren (MOMS) ausgenutzt werden. Insbesondere werden wir neue (einfache und billige) Fabrikationsmethoden entwickeln und verbessern, die auf der Methode der Laserablation in Verbindung mit optischen Resonatoren hoher Finesse beruhen, um bisher unerreichte Sensitivität im Auslesen von MOMS zu ermöglichen. Ein ausgesprochenes Ziel ist das Design und die Herstellung von kompakten Strukturen bestehend aus optischen Resonatoren, die über eine optische Auslesefaser direkt an den mechanischen Sensor gekoppelt sind. Parallel dazu werden wir mögliche Strategien für eine kommerzielle Vermarktung erarbeiten. Das Projekt baut auf Resultaten aus Vorarbeiten und laufender Grundlagenforschung der Antragssteller auf, die diese auf dem Gebiet der opto-mechanischen Herstellung von Quantenzuständen mit Mikromechanischen Systemen durchführen.