Kinetik der Diamantabscheidung mit Halogeniden

Kinetik der Diamantabscheidung mit Halogeniden

Johann Laimer (ORCID: )

Wissenschaftsdisziplinen

Chemische Verfahrenstechnik (20%); Physik, Astronomie (80%)

Keywords

    Diamant Hochfrequenzplasma Plasmachemie Halogenide Massenspektrometrie, Diamant, Halogenide, Hochfrequenzplasma, Massenspektrometrie, Plasmachemie

Forschungsstätte(n)
Nationale Projektbeteiligte

Research Output

  • 27 Zitationen
  • 7 Publikationen
Publikationen
  • 2016
    Titel Entropy and Source Coding for Integer-Dimensional Singular Random Variables
    DOI 10.1109/tit.2016.2604248
    Typ Journal Article
    Autor Koliander G
    Journal IEEE Transactions on Information Theory
    Seiten 6124-6154
    Link Publikation
  • 2014
    Titel Entropy for Singular Distributions
    DOI 10.1109/isit.2014.6875281
    Typ Conference Proceeding Abstract
    Autor Pichler G
    Seiten 2484-2488
  • 2003
    Titel Limitations in the time resolution of quadrupole mass spectrometry using a flushed extraction probe
    DOI 10.1016/s1387-3806(02)00866-7
    Typ Journal Article
    Autor Laimer J
    Journal International Journal of Mass Spectrometry
    Seiten 301-312
  • 2003
    Titel Diamond deposition with chlorinated methanes: investigation of the plasma chemistry
    DOI 10.1016/s0257-8972(03)00450-x
    Typ Journal Article
    Autor Laimer J
    Journal Surface and Coatings Technology
    Seiten 938-942
  • 2003
    Titel Time-resolved study of the conversion of chlorinated hydrocarbons in non-equilibrium hydrogen plasmas
    DOI 10.1016/s0042-207x(02)00739-x
    Typ Journal Article
    Autor Laimer J
    Journal Vacuum
    Seiten 213-217
  • 2001
    Titel Investigation of the plasma chemistry relevant for diamond deposition with chlorinated hydrocarbons
    DOI 10.1016/s0042-207x(01)00138-5
    Typ Journal Article
    Autor Misslinger G
    Journal Vacuum
    Seiten 413-417
  • 2001
    Titel Mass spectrometry with a time resolution of a few milliseconds using a helium flushed probe system
    DOI 10.1016/s0042-207x(01)00140-3
    Typ Journal Article
    Autor Laimer J
    Journal Vacuum
    Seiten 435-439