Neue Ionen Projektions-Optik für Sub-10nm Strukturierung

Wissenschaftsdisziplinen

Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik (20%); Informatik (20%); Physik, Astronomie (60%)

Keywords

• Teilchenoptik,
• Ionen-Multistrahl Technologie,
• Oberflächenstrukturierung,
• Nanoelektronik