Neue Ionen Projektions-Optik für Sub-10nm Strukturierung

Smart Ion Projection Optics for Single-Digit Nanopatterning

Martin Sieberer (ORCID: )

Wissenschaftsdisziplinen

Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik (20%); Informatik (20%); Physik, Astronomie (60%)

Keywords

    Teilchenoptik, Ionen-Multistrahl Technologie, Oberflächenstrukturierung, Nanoelektronik

Forschungsstätte(n)
Nationale Projektbeteiligte
  • Elmar Platzgummer, assoziierte:r Forschungspartner:in