Winkel- und Energieverteilung gestreuter Elektronen

Die Elektronenstrahlmikroanalyse ist eine sehr genaue und leicht anzuwendende zerstörungsfreie Methode zur Analyse sowohl dünner Schichten als auch zur Bestimmung von Zusammensetzungen von Legierungen. Die Genauigkeit hängt jedoch sehr stark von der Kenntnis der physikalischen Parametern der gestreuten Elektronen ab (räumliche Verteilung, Energieverteilung). In dieser Arbeit sollen umfassende Messungen an 25 Elementen zur Bestimmung der Energie- und Winkelverteilung sowohl transmittierte (durch dünne Folien) wie rückgestreuter Elektronen bei Beschleunigungsspannungen von 5-30 kV und Einfallswinkel von 90o -20o durchgeführt werden. Das daraus resultierende Datenmaterial soll zur Verbesserung bestehender Modelle und zur Überprüfung von Simulationsrechnungen verwendet werden.