Flüssigphasenabscheidung von Siliziumheterostrukturen

Erklärtes Ziel dieses Antrags ist die Untersuchung der Flüssigphasenabscheidung von Siliziumheterostrukturen. DieHerstellung von elektronischen Bauelementenmittels Lösungsverfahren hat aufgrund der Möglichkeit einer kostengünstigen Herstellung von großen Flächen große Aufmerksamkeit erregt. Für dieses Projekt sollen bisher unbekannte heteroelementsubstituierte höhere Siliziumhydride synthetisiert werden, die ein oder mehrere kovalent an Silizium gebundene Heteroatome enthalten. Die resultierenden Materialien sollen dann als SingleSource-Precursorenfür die Abscheidung funktioneller Siliziumschichten eingesetzt werden. Im Falle einer erfolgreichen Durchführung des Projekts werden erstmals neue Klassen von funktionalisierten höheren Siliziumhydriden zur Verfügung stehen. Darüber hinaus werden die geplanten Forschungsarbeiten den Zugang zu bisher unbekannten Verfahren zur Herstellung von Silizium-Heterostrukturen ermöglichen, die für die akademische und industrielle Elektronikforschung von hoher Bedeutung sind.

In dem Projekt wurde eine große Anzahl von funktionalisierten Hydropolysilanen hergestellt. Außerdem konnten wir zeigen, dass diese Derivate ideale Ausgangsmaterialien für eine Vielzahl von Abscheidungstechniken sind. Darüber hinaus haben wir gezeigt, dass der Gehalt an Heteroatomen in den Filmen nahezu identisch mit dem Ausgangsmaterial ist. Dies kann als Beweis für unser Konzept angesehen werden. Aufgrund dieser Tatsache sind wir überzeugt, dass diese Moleküle innovative, fortschrittliche Materialien für die nächste Generation der Halbleiterindustrie sind. Mit Hilfe eines kürzlich genehmigten CD-Labors werden wir diese Chemie weiter erforschen, was zur Realisierung unserer Materialien als Halbleiter führen und den European Chip Act unterstützen könnte.