Flüssigphasenabscheidung von Siliziumheterostrukturen
Liquid Phase Deposition of Silicon-Heterostructures
Wissenschaftsdisziplinen
Chemie (100%)
Keywords
-
Polysilanes,
Hydrosilanes,
Silicon Films,
Liquid Phase Deposition
Erklärtes Ziel dieses Antrags ist die Untersuchung der Flüssigphasenabscheidung von Siliziumheterostrukturen. DieHerstellung von elektronischen Bauelementenmittels Lösungsverfahren hat aufgrund der Möglichkeit einer kostengünstigen Herstellung von großen Flächen große Aufmerksamkeit erregt. Für dieses Projekt sollen bisher unbekannte heteroelementsubstituierte höhere Siliziumhydride synthetisiert werden, die ein oder mehrere kovalent an Silizium gebundene Heteroatome enthalten. Die resultierenden Materialien sollen dann als SingleSource-Precursorenfür die Abscheidung funktioneller Siliziumschichten eingesetzt werden. Im Falle einer erfolgreichen Durchführung des Projekts werden erstmals neue Klassen von funktionalisierten höheren Siliziumhydriden zur Verfügung stehen. Darüber hinaus werden die geplanten Forschungsarbeiten den Zugang zu bisher unbekannten Verfahren zur Herstellung von Silizium-Heterostrukturen ermöglichen, die für die akademische und industrielle Elektronikforschung von hoher Bedeutung sind.
In dem Projekt wurde eine große Anzahl von funktionalisierten Hydropolysilanen hergestellt. Außerdem konnten wir zeigen, dass diese Derivate ideale Ausgangsmaterialien für eine Vielzahl von Abscheidungstechniken sind. Darüber hinaus haben wir gezeigt, dass der Gehalt an Heteroatomen in den Filmen nahezu identisch mit dem Ausgangsmaterial ist. Dies kann als Beweis für unser Konzept angesehen werden. Aufgrund dieser Tatsache sind wir überzeugt, dass diese Moleküle innovative, fortschrittliche Materialien für die nächste Generation der Halbleiterindustrie sind. Mit Hilfe eines kürzlich genehmigten CD-Labors werden wir diese Chemie weiter erforschen, was zur Realisierung unserer Materialien als Halbleiter führen und den European Chip Act unterstützen könnte.
- Technische Universität Graz - 100%
- Gregor Trimmel, Technische Universität Graz , nationale:r Kooperationspartner:in
Research Output
- 22 Zitationen
- 6 Publikationen
- 9 Datasets & Models
- 1 Weitere Förderungen
-
2023
Titel Silicon- and Germanium-Functionalized Perylene Diimides: Synthesis, Optoelectronic Properties, and Their Application as Non-fullerene Acceptors in Organic Solar Cells. DOI 10.1002/chem.202301337 Typ Journal Article Autor Sauermoser A Journal Chemistry (Weinheim an der Bergstrasse, Germany) -
2023
Titel Fabrication of Amorphous Silicon-Carbon Hybrid Films Using Single-Source Precursors. DOI 10.1021/acs.inorgchem.3c01846 Typ Journal Article Autor Lainer T Journal Inorganic chemistry Seiten 15490-15501 -
2022
Titel The Synthesis of Tris(silyl)silanides Revisited. A Study of Reactivity and Stability DOI 10.1002/zaac.202200137 Typ Journal Article Autor Lainer T Journal Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie Link Publikation -
2022
Titel Solvent-free amide bond formation using a variety of methoxysilanes as coupling agent DOI 10.1039/d2ob00589a Typ Journal Article Autor Lainer T Journal Organic & Biomolecular Chemistry Seiten 3717-3720 Link Publikation -
2022
Titel Synthesis and Characterization of Methoxylated Oligosilyl Group 4 Metallocenes DOI 10.1021/acs.inorgchem.2c02112 Typ Journal Article Autor Sauermoser A Journal Inorganic Chemistry Seiten 14742-14751 Link Publikation -
2022
Titel Identification and characterization of selected silyl substituted silyl anions by liquid injection field desorption ionization mass spectrometry DOI 10.1177/14690667221139720 Typ Journal Article Autor Lainer T Journal European Journal of Mass Spectrometry Seiten 33-43
-
2023
Link
Titel CCDC 2256332: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2fqwxz Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2023
Link
Titel CCDC 2262255: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2fy1zf Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2022
Link
Titel CCDC 2176007: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2c19sj Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2022
Link
Titel CCDC 2176008: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2c19tk Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2022
Link
Titel CCDC 2176009: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2c19vl Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2022
Link
Titel CCDC 2176010: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2c19wm Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2022
Link
Titel CCDC 2176011: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2c19xn Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2022
Link
Titel CCDC 2176012: Experimental Crystal Structure Determination DOI 10.5517/ccdc.csd.cc2c19yp Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link -
2022
Link
Titel https://repository.tugraz.at/records/9fzex-vvn74 DOI 10.3217/9fzex-vvn74 Typ Database/Collection of data Öffentlich zugänglich Link Link
-
2024
Titel CD-LABORATORY FOR NEW SEMICONDUCTOR MATERIALS BASED ON FUNCTIONALIZED HYDROSILANES Typ Research grant (including intramural programme) Förderbeginn 2024 Geldgeber Christian Doppler Research Association